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8.5"单温区CVD真空管式炉--ZKXJ-11GL4
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ZKXJ-11GL4 是一款炉管外径为  8.5" 的真空管式炉 , 它可以在最大6“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 该炉的最高工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器,温控精度: ±1°C。



技术参数

炉体结构

  • 双层壳体,循环风冷.

  • 炉体表面温度< 70 ºC

  • 采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能

工作电压

AC 220V

功率

8KW

炉管规格

  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 40"

  • 标配内包含一只石英管, 多余的管子可单独订购 (点击下图查看)

加热元件

NiCrAl 电阻丝

工作温度

  • 极限温度: 1100°C

  • 工作温度: 400 -1000°C

  • 升降温速率: 10°C/min(max)

加热区

  • 加热区总长:    600mm (24'')

  • 恒温区长度: 中心200mm (精度±1°C)

  • 在800℃时炉膛温度分布曲线( 点击下图查看)          

控温仪

密封法兰和进气接口

  • 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到  (机械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在内

  • 右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口.   ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" x 1/4"dia  K 型热电偶)

  • 包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射

使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa

  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

  • 石英管的长时间使用温度<1100℃

  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

产品尺寸

炉体:  1000L x 680W x 920 H  mm

净重

250Kg

保修期

整机保修一年,相关耗材除外。(如密封圈、炉管等)

Certificate

  CE certified